真空探針熱臺是一種利用液氨/液氮快速制冷并為晶片、器件和材料（薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等）提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。該低溫真空探針臺可以對材料或器件進行電學特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量，為了提高系統(tǒng)的實用性，系統(tǒng)還可以提高3.2K的溫度擴展選件、震動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

　　真空探針熱臺的維護與保養(yǎng)：

　　平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的X-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

　　而定子在加工過程中生產廠家根據(jù)不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

　　由于平面電機的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。